特許
J-GLOBAL ID：200903072570469416

アルゴンの回収精製方法及び装置

発明者：
田村 雅洋

田村 雅洋 について


出願人/特許権者：
日本酸素株式会社

日本酸素株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260653
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088455
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】 シリコン単結晶製造炉から排出される排ガスから高純度アルゴンガスを効率よく回収する。【解決手段】 単結晶製造炉1からの排ガスは、集塵機2で固体粒子が除去され、油除去筒4、油除去フィルター5で油分が除去される。ついで、水素が添加されて触媒筒7に送られ、ここで酸素が水に転化され、吸着筒8で水分、二酸化炭素が除去される。ついで、高圧塔9、低圧塔11からなる精留塔に送られ、高圧塔9でアルゴンよりも高沸点成分が精留分離され、ついで低圧塔11で低沸点成分が精留分留される。低圧塔11から高純度のアルゴンガスが抜き出され、再利用される。
請求項（抜粋）：
アルゴンを主成分とし、粉塵等の固形分、油分、水分、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素、水素、窒素、炭化水素等を不純物として含む単結晶製造炉などの半導体製造装置からの排ガス中のアルゴンを回収精製する方法であって、前記粉塵等の固形分を除去する工程と、前記排ガスを圧縮する工程と、前記油分を除去する工程と、該排ガス中の酸素の反応に必要な化学量論量より過剰量の水素を添加して酸素を触媒反応で水に転化する触媒反応工程と、該触媒反応工程で転化した水と前記水分及び二酸化炭素を複数の吸着筒で吸着工程と再生工程とを交互に切り替えて行い連続的に吸着除去する吸着除去工程と、前記各工程を経た排ガスを液化精留で得られた低温戻りガスにより冷却する工程と、冷却した排ガスを液化精留することによって排ガスからアルゴンより沸点の高い高沸点成分を濃縮した高沸点成分濃縮液とアルゴンより沸点の低い低沸点成分を濃縮した粗アルゴンガスとに分離する高沸点成分分離工程と、該高沸点成分分離工程で分離した粗アルゴンガスを液化精留することによって粗アルゴンガスから高純度アルゴンとアルゴンより沸点の低い低沸点成分を濃縮した廃ガスとに分離する低沸点成分分離工程と、該低沸点成分分離工程で得られた高純度アルゴンを前記排ガスとの熱交換により昇温して回収する工程とを有することを特徴とするアルゴン回収精製方法。
IPC (2件)：
F25J 3/02 ,  C01B 23/00
FI (2件)：
F25J 3/02 Z ,  C01B 23/00 J
Fターム (10件)：
4D047AA07 ,  4D047AB04 ,  4D047BB04 ,  4D047BB07 ,  4D047BB09 ,  4D047CA03 ,  4D047CA11 ,  4D047CA16 ,  4D047CA17 ,  4D047DA06
引用特許：
審査官引用 (5件)
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