特許
J-GLOBAL ID：200903072573047504

透明平行平板の表面形状測定および厚さ不均一測定のための干渉縞解析法

発明者：
日比野 謙一

日比野 謙一 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-332363
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139511
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】【課題】 トワイマングリーン干渉計装置で透明平行平板の光学的厚さと平行平板の表面形状を測定する従来の方式では、測定誤差が大きかった。【解決手段】 中心波長λが時間的に変化する照明光源からの光束を平行光束として参照面上および被測定平板表面上に導く。前記参照面と前記被測定平板表面との光軸上での距離Lと前記被測定平板の光学的厚さnTの比をL=nT/3に設定し、該被測定平板表面および裏面からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像する。このとき両面からの反射光束の位相差がπ/6ずつ変化する毎に連続的に19画像撮像し、得られた19枚の干渉縞画像情報I-9(x,y),...,I9(x,y)に対して、式(2)を用いた式(1)に基づく演算処理を施して被測定平板の光学的厚さの不均一に関する位相情報ψ2(x、y)を求め、提案した式により厚さ不均一を測定する。同様にして別式で裏面の高さを測定する。
請求項（抜粋）：
透明平行平板の表面の各位置での光学的厚さ不均一を測定する方法において、出力光が平行平板を透過するコヒーレントでその中心波長λを時間的に変化させ得る照明光源と、該照明光源からの光束を平行光束とした後、参照面上および被測定平板表面上に導く光学系と、前記参照面と前記被測定平板表面との光軸上での距離Lと前記被測定平板の光学的厚さnTの比が、およそL=nT/3を満たすように距離Lを設定する装置と、該被測定平板表面および裏面からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像し、そのとき前記出力光の波長λを変化させて、該被測定平板表面および参照面からの反射光束の位相差がおよそπ/6ずつ変化する毎に、連続的に19画像撮像する撮像手段とを備えた干渉計装置において、該撮像して得られた19枚の干渉縞画像情報I-9(x,y),I-8(x,y), ...,I0(x,y),I1(x,y),...,I9(x,y)に対して、数値式(2)を用いた下式(1)に基づく演算処理を施して被測定平板の光学的厚さの不均一に関する位相情報ψ2(x、y)を求め、数式(3)によって該被測定平板の各位置での厚さ不均一を測定することを特徴とする干渉縞解析方法。式(1)【数1】ここで定数ar,brは以下の値とする。式(2)【数2】式(3)【数3】
IPC (2件)：
G01B 11/06 ,  G01B 9/02
FI (3件)：
G01B 11/06 G ,  G01B 11/06 H ,  G01B 9/02
Fターム (25件)：
2F064AA09 ,  2F064CC01 ,  2F064EE05 ,  2F064EE10 ,  2F064FF01 ,  2F064FF08 ,  2F064GG22 ,  2F064GG37 ,  2F064GG59 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA30 ,  2F065BB13 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG25 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ44
引用特許：
出願人引用 (3件)

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