特許
J-GLOBAL ID：200903072651524462

集積回路装置

発明者：
橋本 千里

橋本 千里 について

, 
品川 満

品川 満 について


出願人/特許権者：
日本電信電話株式会社

日本電信電話株式会社 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-372900
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189357
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：
【要約】【課題】 電気光学サンプリング技術を用いて、集積回路の任意の配線電極の信号状態を高精度に測定できる集積回路装置を提供する。【解決手段】 配線電極103l,103m,103nにおける信号強度に応じて観測用パッド106l,106m,106nの面積を変化させる。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に形成された集積回路と、この集積回路を覆うように形成された絶縁保護膜と、前記集積回路を構成する配線電極に接続して前記絶縁保護膜上に形成された金属からなる観測用パッドとを備え、前記観測用パッドは、前記集積回路に信号を印加して動作させた状態における前記観測用パッドが接続する電極配線の信号強度に応じた面積に形成され、前記集積回路に信号を印加して動作させた状態における前記電極配線の信号波形が、前記観測用パッドから発生した電界を電気光学サンプリングで検出することで測定されることを特徴とする集積回路装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/302 ,  G01R 31/28 ,  H01L 23/12
FI (5件)：
H01L 21/66 C ,  G01R 1/06 F ,  G01R 31/28 L ,  G01R 31/28 U ,  H01L 23/12 Q
Fターム (21件)：
2G011AA01 ,  2G011AC33 ,  2G011AE03 ,  2G032AF07 ,  2G032AK04 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AD23 ,  4M106BA06 ,  4M106CA08 ,  4M106DE08 ,  4M106DE14 ,  9A001BB02 ,  9A001BB04 ,  9A001BB05 ,  9A001EE02 ,  9A001JJ45 ,  9A001KK16 ,  9A001KK37 ,  9A001KK54 ,  9A001LL05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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