特許
J-GLOBAL ID：200903072681044970

静電チャック装置

発明者：
鎌田 範幸

鎌田 範幸 について

, 
宮尾 裕文

宮尾 裕文 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267582
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100917
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 静電チャックプレートにウェハ等の平板試料を装着した際に、プレートに付着しているゴミ等の微粒子が、試料に移るのを防ぐ。【解決手段】 静電チャックプレートに、複数の貫通孔と、該貫通孔を貫通する複数のポストと設け、該ポストは前記静電チャックプレートの表面より僅かに突出するようにすることによって、ウェハ等の試料が静電チャックプレートと直接触れることのないようにした。
請求項（抜粋）：
ウェハ等の平板試料を装着する試料ステージ用の静電チャック装置において、複数の貫通孔を有する静電チャックプレートと、前記貫通孔を貫通する複数のポストとを前記試料ステージに取り付け、前記ポストは前記静電チャックプレートの表面より僅かに突出するようにすることによって、静電チャックプレートと前記平板試料との間に空隙を生じせしめ、前記平板試料の装着面が前記静電チャックプレートの表面と直接触れることのないように成したことを特徴とする静電チャック装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H01J 37/20 ,  H02N 13/00
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  H01J 37/20 A ,  H02N 13/00 D
Fターム (7件)：
5C001AA01 ,  5C001AA02 ,  5C001CC04 ,  5C001DD01 ,  5F031FF03 ,  5F031KK09 ,  5F031LL07
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 静電吸着体と静電吸着装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-037559   出願人：株式会社日立製作所
  • 処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-173946   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 特開昭62-286249

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