特許

J-GLOBAL ID：200903072691237466

(メタ)アクリル酸エステルおよびその原料化合物

発明者： 大竹 敦
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-314525
公開番号（公開出願番号）：特開2005-154427
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】 本発明は、塗料、接着剤、粘着剤、インキ用レジン、レジスト、成型材料、光学材料等の構成成分樹脂原料、特に十分な感度および解像度を備えた上に、ドライエッチング耐性に優れ、また、ラインエッジラフネスの点でも優れるレジスト組成物の樹脂原料として有用な(メタ)アクリル酸エステル、その原料化合物、組成物、および、その製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、この(メタ)アクリル酸エステルを使用した重合体、および、その製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】下記式(1)で表されるβ-シアンヒドリン類縁体。それらを原料とした(メタ)アクリル酸エステル。該(メタ)アクリル酸エステルを単量体単位として含む重合体。 【化1】

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表されるβ-シアンヒドリン類縁体。

IPC (3件)：

C07C255/31 ,  C07C253/30 ,  C08F20/34

FI (3件)：

C07C255/31 ,  C07C253/30 ,  C08F20/34

Fターム (34件)：

4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AB76 ,  4H006AB80 ,  4H006AB99 ,  4H006AC48 ,  4H006AC54 ,  4H006QN30 ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BA15Q ,  4J100BA40P ,  4J100BA40Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC07P ,  4J100BC07Q ,  4J100BC08P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100JA01 ,  4J100JA03 ,  4J100JA05 ,  4J100JA07 ,  4J100JA32 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• レジスト材料及びレジストパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-162398   出願人：富士通株式会社
• 第3級アルコールエステル及びレジスト材料の調製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-350765   出願人：富士通株式会社

審査官引用 (2件)

• 特公昭35-004961
  
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-137840   出願人：富士写真フイルム株式会社