特許
J-GLOBAL ID：200903072706131210

電磁波を用いる検査装置、及び検査方法

発明者：
笠井 信太郎

笠井 信太郎 について

, 
尾内 敏彦

尾内 敏彦 について

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井辻 健明

井辻 健明 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-288815
公開番号（公開出願番号）：特開2009-150873
出願日： 2008年11月11日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【課題】従来技術とは異なる手法によってテラヘルツ時間領域分光法を行い、テラヘルツ波の時間波形に関する情報を取得するための装置の提供。【解決手段】テラヘルツ波が発生部11で発生してから、このテラヘルツ波の波形情報として検出部12で検出されるまでの時間を変えるための遅延部14を有する。遅延部14は、発生部11により発生したテラヘルツ波の伝播距離を変えるように構成される。発生部11により発生したテラヘルツ波ごとに、検出部12で検出されたテラヘルツ波の波形情報と伝播距離とを関連付ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
テラヘルツ波の時間波形に関する情報を取得するための装置であって、 テラヘルツ波を発生させるための発生部と、 テラヘルツ波の波形情報を検出するための検出部と、 テラヘルツ波が前記発生部で発生してから、該テラヘルツ波の波形情報として前記検出部で検出されるまでの時間を変えるための遅延部と、を有し、 前記遅延部は、前記発生部により発生したテラヘルツ波の伝播距離を変えるように構成され、 前記発生部により発生したテラヘルツ波ごとに、前記検出部で検出されたテラヘルツ波の波形情報と前記伝播距離とを関連付けることを特徴とする装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (15件)：
2G059AA01 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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