特許
J-GLOBAL ID：200903048699176638
テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
平山 一幸
, 海津 保三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-133564
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315708
出願日： 2004年04月28日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 テラヘルツ電磁波が照射される被測定材料からの反射波の偏光変化によるホール係数などを、非接触、高感度、かつ、高精度で測定できる、テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置を提供する。【解決手段】 テラヘルツ電磁波を発生させる入射光学系10と、入射光学系10から被測定材料2へ入射されるテラヘルツ電磁波の偏光を制御し、かつ、被測定材料2から反射されるテラヘルツ電磁波の偏光を制御する偏光子25と、被測定材料2からの反射テラヘルツ電磁波の偏光を検出する検出光学系30と、を含み、テラヘルツ電磁波の被測定材料2による反射波の偏光状態の変化を電場の直接測定によって検出し、被測定材料2の物性定数である複素屈折率又は複素伝導度をテラヘルツ電磁波の関数として測定する。また、被観察物2に磁場28を印加すれば、非接触で、高感度、かつ、高精度でホール係数の測定ができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
テラヘルツ電磁波を発生させる入射光学系と、
該入射光学系から被測定材料へ入射されるテラヘルツ電磁波の偏光を制御し、かつ、該被測定材料から反射されるテラヘルツ電磁波の偏光を制御する偏光子と、
上記被測定材料からの反射テラヘルツ電磁波の偏光を検出する検出光学系と、を含み構成され、
上記テラヘルツ電磁波の上記被測定材料による反射波の偏光状態の変化を電場の直接測定によって検出し、上記被測定材料の物性定数である複素屈折率又は複素伝導度を上記テラヘルツ電磁波の関数として測定することを特徴とする、テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2G059AA03
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059JJ13
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059MM08
, 2G059MM09
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
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