特許
J-GLOBAL ID:200903072725479251
微粒子
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (2件):
柳瀬 睦肇
, 渡部 温
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-152829
公開番号(公開出願番号):特開2005-334685
出願日: 2004年05月24日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】 特殊な構造を有する微粒子を提供する。【解決手段】第1の微粒子3と、第1の微粒子3の表面に被覆された該第1の微粒子より粒径の小さい超微粒子又は薄膜3aと、第1の微粒子3より粒径の大きい第2の微粒子20と、を具備し、第2の微粒子20の表面に第1の微粒子3が付着している。第1の微粒子3は、例えば内部の断面形状が多角形を有する真空容器を、断面に対して略垂直方向を回転軸として回転させることにより、該真空容器内の第1の微粒子3を攪拌或いは回転させながらスパッタリングを行うことで、表面に超微粒子又は薄膜が被覆されたものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1の微粒子と、
前記第1の微粒子の表面に被覆された薄膜と、
前記第1の微粒子より粒径の大きい第2の微粒子と、
を具備し、
前記第2の微粒子の表面に前記第1の微粒子が付着していることを特徴とする微粒子。
IPC (5件):
B01J23/42
, B01J35/08
, B01J37/02
, C23C14/34
, H01M4/88
FI (5件):
B01J23/42 M
, B01J35/08 Z
, B01J37/02 301P
, C23C14/34 S
, H01M4/88 K
Fターム (147件):
4G042DA01
, 4G042DA02
, 4G042DB05
, 4G042DB27
, 4G042DB35
, 4G042DC03
, 4G042DD04
, 4G069AA03
, 4G069AA08
, 4G069AA11
, 4G069BA01B
, 4G069BB02A
, 4G069BB02B
, 4G069BB04A
, 4G069BB06A
, 4G069BC04A
, 4G069BC05A
, 4G069BC09A
, 4G069BC10A
, 4G069BC16A
, 4G069BC16B
, 4G069BC17A
, 4G069BC18A
, 4G069BC21A
, 4G069BC22A
, 4G069BC23A
, 4G069BC25A
, 4G069BC26A
, 4G069BC31A
, 4G069BC32A
, 4G069BC33A
, 4G069BC35A
, 4G069BC36A
, 4G069BC40A
, 4G069BC44A
, 4G069BC50A
, 4G069BC51A
, 4G069BC54A
, 4G069BC58A
, 4G069BC59A
, 4G069BC60A
, 4G069BC62A
, 4G069BC64A
, 4G069BC66A
, 4G069BC68A
, 4G069BC70A
, 4G069BC71A
, 4G069BC72A
, 4G069BC73A
, 4G069BC74A
, 4G069BC75A
, 4G069BC75B
, 4G069BD04A
, 4G069BD05A
, 4G069BD07A
, 4G069CC32
, 4G069EA01X
, 4G069EA01Y
, 4G069EB18X
, 4G069EB18Y
, 4G069EC29
, 4G069EE01
, 4G069FA03
, 4G069FB02
, 4G069FB79
, 4G169AA03
, 4G169AA08
, 4G169AA11
, 4G169BA01B
, 4G169BB02A
, 4G169BB02B
, 4G169BB04A
, 4G169BB06A
, 4G169BC04A
, 4G169BC05A
, 4G169BC09A
, 4G169BC10A
, 4G169BC16A
, 4G169BC16B
, 4G169BC17A
, 4G169BC18A
, 4G169BC21A
, 4G169BC22A
, 4G169BC23A
, 4G169BC25A
, 4G169BC26A
, 4G169BC31A
, 4G169BC32A
, 4G169BC33A
, 4G169BC35A
, 4G169BC36A
, 4G169BC40A
, 4G169BC44A
, 4G169BC50A
, 4G169BC51A
, 4G169BC54A
, 4G169BC58A
, 4G169BC59A
, 4G169BC60A
, 4G169BC62A
, 4G169BC64A
, 4G169BC66A
, 4G169BC68A
, 4G169BC70A
, 4G169BC71A
, 4G169BC72A
, 4G169BC73A
, 4G169BC74A
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, 4G169BC75B
, 4G169BD04A
, 4G169BD05A
, 4G169BD07A
, 4G169CC32
, 4G169EA01X
, 4G169EA01Y
, 4G169EB18X
, 4G169EB18Y
, 4G169EC29
, 4G169EE01
, 4G169FA03
, 4G169FB02
, 4G169FB79
, 4K029AA07
, 4K029AA11
, 4K029AA22
, 4K029BA02
, 4K029BA13
, 4K029BA21
, 4K029BA43
, 4K029BA64
, 4K029BB01
, 4K029BD00
, 4K029CA06
, 4K029CA17
, 4K029DA01
, 4K029DA08
, 4K029DC01
, 5H018AA01
, 5H018AS01
, 5H018BB01
, 5H018BB07
, 5H018EE03
, 5H018EE04
, 5H018EE05
, 5H018EE12
, 5H018HH01
引用特許:
引用文献:
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