特許
J-GLOBAL ID:200903072746326544
光学装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
稲本 義雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-279266
公開番号(公開出願番号):特開平7-098247
出願日: 1993年11月09日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 被検出物体の位置変動、傾き変動による影響が少なく、また被検出物体の種類判別および有無検知が可能な光学装置を提供する。【構成】 筐体1内には、被検知物体2に対して光を出射する発光手段としての例えばLED3が配置されており、LED3より出射された光は、被検知物体2に対して斜め方向から投射される。被検知物体2に対して出射された投射光は、被検知物体2によって反射され、筐体1内に配置された受光手段によって受光される。この受光手段は、偏光ビームスプリッタ4と、第1と第2の受光素子5、6より構成している。前記偏光ビームスプリッタ4は、斜め方向から入射する反射光のうち、S偏光成分を偏光ビームスプリッタ4の表面において反射し、第1の受光素子5に投射する。また、P偏光成分は偏光ビームスプリッタ4を透過し、第2の受光素子6に投射する。
請求項(抜粋):
被検知物体に対して光を出射する発光手段と、前記被検知物体を反射、透過もしくは被検知物体により一部散乱した前記発光手段からの光のいずれかを受光する受光手段と、を備えた物体の種類判別もしくは有無を検知する光学装置において、前記受光手段は、前記被検知物体からの光、もしくは前記被検知物体により一部散乱した光のうち複数の偏光成分を別個に受光することを特徴とする光学装置。
IPC (3件):
G01J 1/02
, G01B 11/00
, G01V 8/14
引用特許:
審査官引用 (11件)
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特開昭63-052284
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特開昭63-052284
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特開昭63-052284
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エリプソパラメータ測定方法及びエリプソメータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-297091
出願人:日本鋼管株式会社
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限定反射形センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-203315
出願人:オムロン株式会社
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特開平1-305340
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特開平1-305340
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特開平1-305340
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特開昭59-228128
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特開昭59-228128
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特開昭59-228128
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