特許
J-GLOBAL ID：200903072793692907
ウエーハ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-228812
公開番号（公開出願番号）：特開2009-064801
出願日： 2007年09月04日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：
【課題】ウエーハを特定するための識別コードが裏面の研削によって消失することがなく、デバイス領域を制限することがないとともに、印字された識別コードを誤認識することなく読み取ることができるウエーハを提供する。【解決手段】円形状のウエーハ基板の表面に複数のデバイスが形成されるデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハであって、ウエーハ基板の外周余剰領域の外周端部には表面から裏面にわたって断面形状が円弧面をなす面取り部が形成されており、面取り部にウエーハ基板の結晶方位を示すマークとして表面および裏面に直交する平坦面が形成され、平坦面にウエーハ基板を特定するための識別コードが印字されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
円形状のウエーハ基板の表面に複数のデバイスが形成されるデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハであって、
ウエーハ基板の該外周余剰領域の外周端部には表面から裏面にわたって断面形状が円弧面をなす面取り部が形成されており、該面取り部にウエーハ基板の結晶方位を示すマークとして表面および裏面に直交する平坦面が形成され、該平坦面にウエーハ基板を特定するための識別コードが印字されている、
ことを特徴とするウエーハ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/02 A
, H01L21/02 B
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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