特許
J-GLOBAL ID：200903072794336730
改良された高速度でマルチレベルの冷却されないボロメータおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-502448
公開番号（公開出願番号）：特表2004-522162
出願日： 2002年05月15日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
マイクロボロメータユニットセル10は、実質上平坦な上位レベルの入射放射線吸収および検出構造24と、上位レベルの入射放射線吸収および検出構造から隔てられてその間に光共振空洞を規定する実質上平坦な中間レベルの放射線反射構造26と、中間レベルの放射線反射構造から隔てられ、上位レベルの入射放射線吸収および検出構造と、下に位置する読出し回路とに電気的に結合されている実質上平坦な下位レベルの熱隔離脚部構造20とを含んでいる。下位レベルの熱隔離脚部構造は中間レベルの放射線反射構造内の開口48を通過する脚部44により上位レベルの入射放射線吸収および検出構造に電気的に結合されており、脚部はまた構造的な支持部材として機能する。下位レベルの熱隔離脚部構造は下に位置する読出し集積回路12に配置された電気接触部で終端する別の脚部18を通って読出し回路に電気的に結合されており、中間レベルの放射線反射構造は脚部の延長部18A により支持されている。上位レベルの入射放射線吸収および検出構造は上位レベルの入射放射線吸収および検出構造周辺を中心として1つの配置されたフレーム状部材等の強化部材50を含んでいることは本発明の技術的範囲内である。共振光空洞は入射放射線の波長の関数である間隔により規定され、ユニットセルアレイの隣接して配置されるユニットセルは異なる間隔を有する共振光空洞を具備しており、それによって異なる波長に対する感度を高める。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
マイクロボロメータユニットセル(10)において、
実質上平坦な上位レベルの入射放射線吸収および検出構造(24)と、
前記上位レベルの入射放射線吸収および検出構造から隔てられてその間で光共振空洞(36)を規定する実質上平坦な中間レベルの放射線反射構造(26)と、
中間レベルの放射線反射構造から隔てられ、前記上位レベルの入射放射線吸収および検出構造と、下に位置する読出し回路(12、16)とに電気的に結合されている実質上平坦な下位レベルの熱隔離脚部構造(20)とを具備しているマイクロボロメータユニットセル。
IPC (3件)：
G01J1/02
, H01L27/14
, H01L37/00
G01J1/02 C
, G01J1/02 Q
, H01L37/00
, H01L27/14 K
2G065AA11
, 2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G065BA14
, 2G065BA34
, 2G065BE08
, 2G065CA13
, 2G065DA20
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA16
, 4M118CA32
, 4M118CB12
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB24
