特許

J-GLOBAL ID：200903072890280320

欠陥検査方法及び装置

発明者： 今野 雄介
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (3件)： 萩原 康司 ,  金本 哲男 ,  亀谷 美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-096062
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275802
出願日： 2005年03月29日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】 被検査体の表面の欠陥を検査する際に,輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥と輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥とを同時に検出することのできる計算負荷の低い欠陥検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 被検査体表面の画像データの各画素の輝度を正規化した後に正規化基準値を用いて重み付けするようにしたので輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥を消失させずに輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥を検出することが可能となる。また,被検査体表面の画像データの輝度を正規化及び重み付けした値を各画素に対する有害度として定めた後,各画素を中心とする所定サイズの領域内の有害度を積分した値を各画素に対する有害度積分値として定めて,この有害度積分値を二値化処理するようにしたので,単一欠陥としての検出が困難な分断された欠陥や,集合して存在する欠陥を1つの欠陥として低い計算負荷で検出することが可能となる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検査体の表面を撮像して画像データを得る工程と, 前記画像データの輝度を正規化基準値により正規化して輝度正規化画像データを求める工程と, 前記輝度正規化画像データの各画素の輝度に対して前記正規化基準値との差分による重み付けをした有害度を,各画素毎に定めた有害度画像データを求める工程と, 前記有害度画像データの各画素に対して当該各画素を中心とする所定サイズの領域内の前記有害度を積分した有害度積分値を,各画素毎に定めた有害度積分画像データを求める工程と, 前記有害度積分画像データを第1の閾値に基づき二値化して有害度二値化画像データを求める工程と, 前記有害度二値化画像データをラベリング処理してラベル画像データを求める工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/892

FI (1件)：

G01N21/892 B

Fターム (14件)：

2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB02 ,  2G051EB05 ,  2G051EC03 ,  2G051ED01 ,  2G051ED09 ,  2G051ED23

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 明欠陥/暗欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-280965   出願人：東芝エンジニアリング株式会社
• 特異点検出装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-294667   出願人：旭硝子株式会社, 旭硝子エンジニアリング株式会社
• 表面欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-235508   出願人：富士ゼロックス株式会社