力学量センサおよびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東島隆治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-123625
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304197
出願日： 1996年05月17日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】感歪み抵抗体と電気絶縁基板の間の反応によるゲージ率の低下を抑制し、ゲージ率の大きな力学量センサを提供する。【解決手段】金属基材および金属基材の表面を被覆する絶縁層からなる電気絶縁基板と、電気絶縁基板の表面に密着して形成された感歪み抵抗体と、感歪み抵抗体の両端部にそれぞれ端部の上面を覆うように形成された一対の電極を具備する。

請求項（抜粋）：

金属基材および前記金属基材の表面を被覆する絶縁層からなる電気絶縁基板と、前記電気絶縁基板の表面に密着して形成された感歪み抵抗体と、前記感歪み抵抗体の両端部にそれぞれ前記端部の上面を覆うように形成された一対の電極を具備する力学量センサ。

IPC (3件)：

G01L 1/22 , G01B 7/16 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 1/22 M , H01L 29/84 A , G01B 7/18 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭48-030955
特開平1-150803
歪センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-215821 出願人：松下電器産業株式会社

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