特許

J-GLOBAL ID：200903072947022080

塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および方法

発明者： 北村 義之 ,  谷 義則 ,  佐久間 勇
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174490
公開番号（公開出願番号）：特開2001-000904
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】 吸着固定したガラス基板に対して、ダイが移動して塗布を行う形式のダイコータの場合に、塗布液供給手段とダイを連結する配管の移動が容易で、さらに配管の移動による塗布精度の低下をもたらさないようにすることが可能な塗布装置および塗布方法、並びにこれらの塗布装置および方法を用いたプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記塗布液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に吐出する吐出口を有する塗布器と、該塗布器を移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成するための塗布器移動手段とを備えた塗布装置であって、前記塗布液供給手段は塗布器と同時に移動する塗布液供給手段移動手段上に設置されていることを特徴とする塗布装置、および塗布方法、並びにそれらを用いたプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。

請求項（抜粋）：

塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記塗布液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に吐出する吐出口を有する塗布器と、該塗布器を移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成するための塗布器移動手段とを備えた塗布装置であって、前記塗布液供給手段は塗布器と同時に移動する塗布液供給手段移動手段上に設置されていることを特徴とする塗布装置。

IPC (7件)：

B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 Z ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (29件)：

2H025AA00 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  2H048AA09 ,  4D075AC02 ,  4D075AC84 ,  4D075AC86 ,  4D075BB65Z ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075EA05 ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA31 ,  4F041BA60 ,  5C027AA09 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA23 ,  5C040JA31 ,  5C040KA16 ,  5C040MA24 ,  5C040MA25 ,  5C040MA26 ,  5F046JA01 ,  5F046JA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-117028   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-006744   出願人：東レ株式会社