特許
J-GLOBAL ID:200903072967386010
ホログラムの欠陥検出装置および欠陥検出方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-308596
公開番号(公開出願番号):特開2004-144565
出願日: 2002年10月23日
公開日(公表日): 2004年05月20日
要約:
【課題】ホログラムの表面の欠陥を精度良く検出すること。【解決手段】本発明は、被検体である薄板状のホログラム10の表面の欠陥を検出する欠陥検出装置であって、被検体であるホログラム10の表面に対して、ホログラム10の表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を照射する平面光源11と、検査光によって照射された該ホログラム10の表面を直上部から見た画像を撮像し、画像データを取得するカメラ12と、カメラ12によって取得された画像データと、予め撮像され取得された被検体であるホログラム10と同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、被検体であるホログラム10の表面に欠陥が有るか否かを判定する画像データ比較部32とを備えている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
被検体である薄板状のホログラムの表面の欠陥を検出する装置であって、
前記被検体であるホログラムの表面に対して、前記ホログラムの表面の直上部を除く実質的な表面側全方向から検査光を照射する検査光用光源と、
前記検査光によって照射された該ホログラムの表面を前記直上部から見た画像を撮像し、画像データを取得する撮像手段と、
前記撮像手段によって取得された画像データと、予め撮像され取得された前記被検体であるホログラムと同一仕様で無欠陥のホログラムの画像データとに基づいて、前記被検体であるホログラムの表面に欠陥が有るか否かを判定する判定手段と
を備えたホログラムの欠陥検出装置。
IPC (3件):
G01N21/892
, G01N21/84
, G06T7/00
FI (3件):
G01N21/892 A
, G01N21/84 E
, G06T7/00 300E
Fターム (18件):
2G051AA32
, 2G051AA73
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB06
, 2G051CC09
, 2G051DA06
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 5L096BA03
, 5L096CA02
, 5L096CA03
, 5L096CA17
, 5L096HA07
引用特許:
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