搬送システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：塩入明 , 塩入みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-236547
公開番号（公開出願番号）：特開2006-054389
出願日： 2004年08月16日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

【課題】搬送車コントローラでの搬送指令の割付を容易にすると共に、搬送効率を高めることのできる搬送システムを提供する。【解決手段】処理装置16からの物品の搬送を天井走行車12aへ割り付け、処理装置16への物品の搬送を天井走行車12bに割り付ける。天井走行車12bが先に処理装置16に到着すると、搬送物品をロードポート20に面したバッファ棚22に払い出し、ロードポート20の物品を荷積みして搬送する。後で到着した天井走行車12aは、バッファ棚22の物品をロードポート20へ移載する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ロードポートを備えた処理装置に沿って走行経路を走行し物品を搬送する搬送車と、搬送車に物品の搬入先を指令する搬送車コントローラとを備えたシステムにおいて、ロードポート付近にバッファ用の棚を設けると共に、前記コントローラから所定のロードポートへの物品の搬入を指令された搬送車が前記ロードポートへ到着した際に、前記ロードポートが在荷の場合、搬送車が、前記コントローラの管理下で、搬入物品を前記ロードポートの近傍のバッファ用の棚へ荷下ろしすると共に、前記ロードポートの物品を搬出するようにしたことを特徴とする、搬送システム。

IPC (3件)：

H01L 21/677 , B65G 1/00 , B65G 49/07

FI (4件)：

H01L21/68 A , B65G1/00 501C , B65G49/07 D , B65G49/07 L

Fターム (16件)：

3F022AA08 , 3F022FF01 , 3F022LL07 , 3F022LL12 , 3F022MM08 , 3F022MM11 , 3F022MM42 , 3F022NN31 , 3F022NN51 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA17 , 5F031FA11 , 5F031FA15 , 5F031GA58 , 5F031PA02

引用特許：

出願人引用 (9件)

特許3067656号
マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-172953 出願人：株式会社半導体先端テクノロジーズ
特開平1-303736

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審査官引用 (8件)

マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-172953 出願人：株式会社半導体先端テクノロジーズ
センタリング装置及び半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-018848 出願人：東京エレクトロン株式会社, 三星電子株式会社
特開平1-303736

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