特許
J-GLOBAL ID：200903039484495997
ロードポート
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
志賀 正武 (外9名)
, 志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091972
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288991
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 怪我などを防いで安全性の高い構造にした半導体製造装置におけるロードポートを提供する。【解決手段】 キャリア11を装置開口16に向かって移動するキャリア置台14を移動させるキャリア置台移動手段18を、キャリア11が装置開口16に当接する直前に到達するまで、キャリア置台14を小さい弱い力で移動させ、その後、装置開口16に向かってキャリア置台14を大きい力で移動させる圧力調整手段26を設けた。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置におけるウエハを収納したキャリアを装置開口に向かって移動するキャリア置台を備えた半導体製造装置におけるロードポートにおいて、前記キャリアが前記装置開口との間に所定の微少な間隔をおいた位置に到達するまで前記キャリア置台を小さい力で移動させ、その後、前記装置開口に向かって前記キャリア置台を前記開口の直前に到達するまでよりも大きい力で移動させる手段、を備えたことを特徴とするロードポート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 L
