特許
J-GLOBAL ID：200903073162364491
インクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-239011
公開番号（公開出願番号）：特開2008-055873
出願日： 2006年09月04日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：
【課題】インクジェットヘッドの接合安定性を向上させ、接合不良及び剥離を最小限に止める。【解決手段】基板(Siウエハ)に素子3が設けてあり、その素子3を囲むように複数列の溝4が設けてある。これら二枚の基板を減圧環境下で接合する。溝部は接合後に減圧空間4となる。従来接合に寄与していない接合不良を防止するための凹部を減圧空間することにより第一の基板1と第二の基板2が大気圧で押され、実質的に接合力が増える効果が得られ接合の安定化を実現させたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一方の面に液体に吐出圧力を発生する為の吐出圧発生素子を形成し、もう一方の面に前記液体が満たされ前記吐出圧発生素子により前記液体を加圧する為の個別液室を設けた第一の基板と、前記個別液室に連通する吐出口を形成した第二の基板とを接合してなるインクジェットヘッドにおいて、前記第一の基板と前記第二の基板の少なくとも一方に、予め複数の凹部を形成し、第一の基板の凹部を設けた面と第二の基板とを接合することにより形成される空間が減圧状態であることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AP02
, 2C057AP22
, 2C057AP26
, 2C057AP31
, 2C057AP32
, 2C057AP52
, 2C057AP71
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
