特許
J-GLOBAL ID:200903073168200814
エッチング部品の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-012876
公開番号(公開出願番号):特開2002-212763
出願日: 2001年01月22日
公開日(公表日): 2002年07月31日
要約:
【要約】【課題】鉄-ニッケル合金からなる金属基材をエッチングする際エッチング時の表面粗さを一定の値以下に制御することができるエッチング部品の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】ニッケルを30〜50重量%含有する鉄-ニッケル合金からなる金属基材を、塩化第二鉄溶液にてエッチング加工するエッチング部品の製造方法において、エッチング加工時の前記金属基材の電位が150mVを越える状態でエッチングを行うことを特徴とする。
請求項(抜粋):
鉄-ニッケル合金からなる金属基材を、塩化第二鉄溶液にてエッチング加工するエッチング部品の製造方法において、エッチング加工時の前記金属基材の電位が150mVを越える状態でエッチングを行うことを特徴とするエッチング部品の製造方法。
IPC (3件):
C23F 1/28
, H01J 9/14
, H01L 23/50
FI (3件):
C23F 1/28
, H01J 9/14 G
, H01L 23/50 A
Fターム (13件):
4K057WA10
, 4K057WA11
, 4K057WB02
, 4K057WB03
, 4K057WB17
, 4K057WE08
, 4K057WG10
, 4K057WL03
, 4K057WN01
, 4K057WN03
, 5C027HH11
, 5F067DA16
, 5F067EA02
引用特許: