特許
J-GLOBAL ID：200903073172548876

半導体力学量センサ

発明者：
石王 誠一郎

石王 誠一郎 について

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酒井 峰一

酒井 峰一 について

, 
青 建一

青 建一 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-036326
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230986
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 動作中においても可動電極や錘部が基板に付着しない半導体力学量検出センサを提供する。【解決手段】 可動電極7a、7b、8a、8b、梁部4、5及び質量部6の下部の全てにおいて、基板1に部分的に突出したストッパー部50を設ける。このように、可動電極7a等、梁部4、5及び質量部6の下部の全てにおいて、基板1に部分的に突出したストッパー部50を設ければ、可動電極7a等と基板1との付着を防止することができる。さらに、可動電極7a等、梁部4、5及び質量部6の下部において、基板1に下部電極26を形成し、アンカー部3a、3bを介して下部電極26と梁構造体2Aとを等電位にすれば、可動電極7a等と基板1との間に電位差が発生せず、静電気力による可動電極7a等と基板1との付着を防止することができる。
請求項（抜粋）：
基板(1)上に、可動部(2A)と固定部(2B)とを備えてなり、前記可動部は、可動電極(7a、7b、8a、8b)を有する質量部(6)が、前記基板上に形成された第1のアンカー部(3a、3b)により梁部(4、5)を介して支持され、力学量により変位するように構成されており、前記固定部は、前記可動電極と対向する形状を成し前記基板上に固定された固定電極(9a、9b、11a、11b、13a、13b、15a、15b)を有しており、前記可動電極、前記梁部及び前記質量部の下部の全てにおいて、前記基板に部分的に突出したストッパー部(50)が設けられていることを特徴とする半導体力学量センサ。
IPC (2件)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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