熱式流量センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-199591
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026172
出願日： 2006年07月21日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：

【課題】センサ素子へのダストの衝突を低減するとともに、センサ素子周りの被測定流体の流れの剥離による測定誤差を低減する。【解決手段】主通路内を流れる流体の流れ方向に沿って設けられたベース部4と、前記主通路を流れる流体の流量を検知するための発熱抵抗体3が基板上に形成されたセンサ素子2とを備えた熱式流量センサ1Aにおいて、前記ベース部4に矩形状の凹部5が形成されるとともに、該凹部5内に前記センサ素子2がその検知部表面が前記凹部5の上端縁5aより低くなるように嵌め込まれて固着され、かつ、前記センサ素子2が対面する測定用通路壁部分に絞り9が設けられるとともに、前記発熱抵抗体3が、前記凹部5の上流側端縁5aから流れ方向に沿って、前記凹部5の上端縁5aと前記センサ素子2の検知部表面との間に形成される段差Dに起因して生じる流体の流れの乱れの影響を受けない位置まで離隔せしめられている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

流体の流れ方向に沿って設けられたベース部と、該ベース部に取り付けられ、前記主通路を流れる流体の流量を検知するための発熱抵抗体が基板上に形成されたセンサ素子とを備えた熱式流量センサであって、前記ベース部に矩形状の凹部が形成されるとともに、該凹部内に前記センサ素子がその検知部表面が前記凹部の上端縁より低くなるように嵌め込まれて固着され、かつ、前記センサ素子が対面する測定用通路壁部分に絞りが設けられるとともに、前記発熱抵抗体が、前記凹部の上流側端縁から流れ方向に沿って、前記凹部の上端縁と前記センサ素子の検知部表面との間に形成される段差に起因して生じる流体の流れの乱れの影響を受けない位置まで離隔せしめられていることを特徴とする熱式流量センサ。

IPC (3件)：

G01F 1/692 , F02D 35/00 , H01L 37/00

FI (3件)：

G01F1/68 104A , F02D35/00 366E , H01L37/00

Fターム (2件)：

2F035AA02 , 2F035EA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

流速計
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-120127 出願人：オムロン株式会社, 東京瓦斯株式会社

審査官引用 (6件)

流量及び流速測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-174509 出願人：日本特殊陶業株式会社
空気流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-115595 出願人：株式会社日立製作所
空気流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-119533 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング

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