特許
J-GLOBAL ID:200903088976080343
流量測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢作 和行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-374684
公開番号(公開出願番号):特開2005-140544
出願日: 2003年11月04日
公開日(公表日): 2005年06月02日
要約:
【課題】ランダム方向に飛んでくるパーティクルによるセンサ素子破壊を抑制することができ、且つ高い測定精度が確保された流量測定装置を提供する。【解決手段】上方表面が被測定流体に露出して、被測定流体の流量を測定するセンサ素子1と、センサ素子1を搭載する支持板2cとを備える流量測定装置100において、センサ素子1が、衝撃吸収材4を介して、支持板2cに搭載される。これによれば、ランダム方向に飛んでくるパーティクルがセンサ素子1に衝突しても、衝撃吸収材4によってパーティクル衝突の衝撃が緩和される。このため、センサ素子1が傷ついたり、破壊したりするのを抑制することができる。また、流測定装置100においては、センサ素子1が被測定流体に対して剥き出し状態であるため、センサ感度が良く、高い測定精度が確保された流量測定装置とすることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
上方表面が被測定流体に露出して、前記被測定流体の流量を測定するセンサ素子と、前記センサ素子を搭載する支持板とを備える流量測定装置において、
前記センサ素子が、衝撃吸収材を介して、前記支持板に搭載されることを特徴とする流量測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01F1/68 101A
, G01F1/68 104A
Fターム (2件):
引用特許:
出願人引用 (2件)
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流量計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-374682
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング
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半導体流量測定装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-017595
出願人:三菱電機株式会社
審査官引用 (7件)
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流れ媒体の質量を測定するための測定装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平11-520741
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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流量計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-073478
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング
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液体用流量センサー
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-074148
出願人:三井金属鉱業株式会社
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特開昭61-167820
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熱式空気流量センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-158739
出願人:株式会社日立製作所
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流量計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-374682
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング
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熱式流量センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-112294
出願人:株式会社リコー
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