特許
J-GLOBAL ID:200903073210721234

感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-148110
公開番号(公開出願番号):特開平10-339948
出願日: 1997年06月05日
公開日(公表日): 1998年12月22日
要約:
【要約】【課題】 感度を低下させることなく、硬調な画像形成性を示し、焼きぼけ、白灯安全性および現像許容性が広く、大量処理しても現像液のヘドロ化が生じないポジ型感光性組成物を得る。【解決手段】 少なくとも(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を側鎖に有する付加重合可能なモノマー20〜60モル%及び(2)-SO2NH2、-SO2NH-、-SO2NHCOO-、-CONHSO2-、-CONHSO2NH-、-NHCONHSO2-及び-CONHC0-から選択される少なくとも1つの酸性水素原子置換基を有する付加重合可能なモノマー30〜70モル%を共重合成分として有する高分子化合物を含有するポジ型感光性組成物。
請求項(抜粋):
少なくとも下記(1)で示される構成単位20〜60モル%及び下記(2)で示される構成単位30〜70モル%を共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を側鎖に有する付加重合可能なモノマー(2)-SO2NH2、-SO2NH-、-SO2NHCOO-、-CONHSO2-、-CONHSO2NH-、-NHCONHSO2-及び-CONHCO-から選択される少なくとも1つの酸性水素原子置換基を有する付加重合可能なモノマー
IPC (7件):
G03F 7/004 504 ,  C08L 33/00 ,  C08L 33/16 ,  C09D201/04 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
FI (7件):
G03F 7/004 504 ,  C08L 33/00 ,  C08L 33/16 ,  C09D201/04 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許:
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る