特許
J-GLOBAL ID：200903073216297612

リニアモータ及びこのリニアモータを用いたステージ装置

発明者：
篠平 大輔

篠平 大輔 について

, 
臼井 道太郎

臼井 道太郎 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-204743
公開番号（公開出願番号）：特開2006-033909
出願日： 2004年07月12日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】 本発明はリニアモータのコイル部を効率良く冷却することを課題とする。【解決手段】 リニアモータ20は、磁石ユニット54の磁石46間に挿入されるコイル部60と、このコイル部60を冷却するコイル冷却ユニット62と、2列のコイル列を保持するコイルホルダ64とを備える。コイル冷却ユニット62は、第1の冷却パネル62Aと第2の冷却パネル62Bとが交互に配置されている。第1の冷却パネル62Aは、コイル部60に接する高温側と放熱を行う低温側との温度差によって発電する熱電変換素子が平板状に並設されている。また、第2の冷却パネル62Bは、熱電変換素子からの電流供給によりコイル部60を冷却するペルチェ素子が平板状に並設されている。コイル冷却ユニット62は、コイル部60の熱を利用して発電を行って冷却効果を増大させるため、効率的にコイル部60を冷却できる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
複数のコイルが並設されたコイル部と、複数の永久磁石が前記コイル列に対向するように並設されたマグネットヨーク部と、前記コイル部を冷却するコイル冷却部とを有するリニアモータにおいて、 前記コイル冷却部は、 前記コイルからの熱伝導により発電を行う熱電変換手段と、 該熱電変換手段からの電流供給により前記コイル部の冷却を行う電熱変換手段と、 を備えたことを特徴とするリニアモータ。
IPC (3件)：
H02K 41/02 ,  H02K 9/22 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
H02K41/02 Z ,  H02K9/22 Z ,  H01L21/30 503A
Fターム (25件)：
5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5F046DA26 ,  5H609BB03 ,  5H609BB08 ,  5H609PP02 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ23 ,  5H609QQ25 ,  5H609RR63 ,  5H609RR65 ,  5H609RR69 ,  5H609RR71 ,  5H609RR74 ,  5H641BB06 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG06 ,  5H641GG12 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH02 ,  5H641HH06 ,  5H641JA06 ,  5H641JB03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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