特許
J-GLOBAL ID：200903073229227869

配線及びそれを用いた表示装置

発明者：
工藤 利雄

工藤 利雄 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020915
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209160
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 薄膜トランジスタを備えたアクティブマトリックス型の液晶表示装置において、ゲート電極を含む走査ラインからなる配線をAl-Nd合金によって形成した際に、配線の低抵抗化を図るとともに、配線の表面を平坦化する。【解決手段】 まず、図1(B)に示すように、DCマグネトロンスパッタリング法により、基板温度を室温として、ガラス基板21上に結晶粒サイズの極めて小さいAl-Nd合金薄膜22を成膜する。次に、熱処理を行うと、図1(A)に示すように、薄膜22の内部組織の結晶粒成長が表面組織のそれよりもかなり速いことにより、内部組織の結晶粒がかなり成長するのに対し、表面組織の結晶粒はほとんど成長しない。この結果、薄膜22の内部組織の結晶粒サイズがかなり大きくなることにより、配線の低抵抗化を図ることができ、しかも薄膜22の表面組織の結晶粒サイズが極めて小さいので、配線の表面を平坦化することができる。
請求項（抜粋）：
結晶粒サイズが表面組織で小さく内部組織で大きいAl-Nd合金薄膜からなることを特徴とする配線。
IPC (5件)：
H01L 21/3205 ,  G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 335 ,  H01L 29/786 ,  H05K 1/09
FI (6件)：
H01L 21/88 N ,  G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 335 ,  H05K 1/09 A ,  H01L 29/78 616 V ,  H01L 29/78 617 M
引用特許：
審査官引用 (2件)

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