特許
J-GLOBAL ID：200903073238454347
サンプルの製造及び透過性照射方法並びに粒子光学システム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠彦
, 大貫 進介
, 伊東 忠重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-005560
公開番号（公開出願番号）：特開2004-228076
出願日： 2004年01月13日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】 サンプルの製造及び透過性照射に関する方法を供する。【解決手段】 A 内部低圧チャンバーを有する粒子光学システムを設け、前記チャンバー内にて電子ビーム及び交差イオンビームの発生に適しているステップ; B 前記チャンバー内部に、マニピュレーターにより運搬された試験片を設けるステップ; C 前記試験片からサンプルを切り出すように前記イオンビームで前記試験片を照射するステップ; D 前記の切断されたサンプルをマニピュレート可能なようにサンプルホルダーへと相対的に移動させるステップ、 E 前記サンプルを前記サンプルホルダーに取り付けるステップ;及び F 前記サンプルホルダーに取り付けられた前記サンプルの透過性照射を行うように、電子ビームを使用するステップ、で構成され、 前記ステップFは、前記ステップAに従った粒子光学システムの前記低圧チャンバー内にて実行されることを特徴とする方法を有している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
サンプルの製造及び透過性照射に関する方法であって:
A)内部低圧チャンバーを有する粒子光学システムを設け、前記チャンバー内にて電子ビーム及び交差イオンビームの発生に適しているステップ;
B)前記チャンバー内部に、マニピュレーターにより運搬された試験片を設けるステップ;
C)前記試験片からサンプルを切り出すように前記イオンビームで前記試験片を照射するステップ;
D)前記の切断されたサンプルをマニピュレート可能なようにサンプルホルダーへと相対的に移動させるステップ;
E)前記サンプルを前記サンプルホルダーに取り付けるステップ;及び
F)前記サンプルホルダーに取り付けられた前記サンプルの透過性照射を行うように、電子ビームを使用するステップ;
を有し、
前記ステップFは、前記ステップAに従った粒子光学システムの前記低圧チャンバー内にて実行されることを特徴とする方法。
IPC (7件)：
H01J37/20
, G01N1/28
, G01N1/32
, G21K5/00
, G21K5/04
, H01J37/26
, H01J37/317
H01J37/20 Z
, G01N1/32 B
, G21K5/00 A
, G21K5/04 A
, G21K5/04 M
, H01J37/26
, H01J37/317 D
, G01N1/28 F
, G01N1/28 G
2G052AD32
, 2G052AD52
, 2G052CA04
, 2G052CA46
, 2G052DA33
, 2G052EC18
, 2G052EC22
, 2G052GA34
, 5C001AA02
, 5C001AA06
, 5C001CC01
, 5C001CC08
, 5C001DD01
, 5C033SS02
, 5C034DD09
出願人引用 (2件)
-
米国特許第B1-6,376,839号明細書
-
欧州特許第927880A1号明細書
審査官引用 (7件)
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