荷電粒子線装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-372685
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185069
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】荷電粒子線装置において、観察位置の移動状況を画像とカウンタで確認しながら指定された試料観察位置に到達する。【解決手段】モニタ22の表示画像から任意の試料構造をポインティングデバイス26で指定すると、指定位置が画像の中心に移動するとともに移動後のカウント数35を表示する。あらかじめ設定した目的構造までのカウント数36と移動後のカウント数35を比較しながら前記した観察位置移動を繰り返すことにより、指定された試料位置に到達する。【効果】微小類似構造が規則正しく配列した試料中のあらかじめ指定された位置まで、確実に、かつ効率良く位置移動することができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線照射により試料から発生した信号を検出し画像として表示するための手段と、上記荷電粒子線を偏向し荷電粒子線照射位置を変更する電気的視野移動機能と試料の位置を移動する試料移動機構の一方または両方と、表示画像上の任意の試料位置をポイント指定するための手段と、前記ポイント指定した試料位置を任意の位置に移動するための電気的視野移動および試料移動機構の座標制御機構を有する荷電粒子線装置において、座標制御機構による観察位置移動操作の回数を自動的にカウントするカウンタを設けることにより、画像観察位置の移動状況を確認しながら希望する試料位置まで到達することを実現する荷電粒子線装置。

IPC (7件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , G03F 7/20 504 , H01J 37/147 , H01J 37/317 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (9件)：

H01J 37/22 502 B , H01J 37/22 502 D , G03F 7/20 504 , H01J 37/147 B , H01J 37/317 D , H01L 21/66 J , H01L 21/66 S , H01L 21/66 P , H01L 21/30 541 U

Fターム (22件)：

2H097AA03 , 2H097AB05 , 2H097CA16 , 2H097LA10 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA03 , 4M106CA39 , 4M106DB05 , 4M106DB18 , 4M106DB21 , 4M106DB30 , 4M106DJ04 , 5C033FF03 , 5C033FF06 , 5C034AA02 , 5C034AB03 , 5C034DD05 , 5F056BA08 , 5F056BC01 , 5F056CB11 , 5F056EA06

引用特許：

審査官引用 (3件)

測定装置および測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-066790 出願人：松下電子工業株式会社
走査形電子顕微鏡における自動軸調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-107053 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特開昭64-026107

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