特許
J-GLOBAL ID:200903073299302485

アニオン重合又は制御ラジカル重合によるヒドロキシ-ビニル芳香族ポリマー又はコポリマーの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 津国 肇 ,  篠田 文雄
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-551039
公開番号(公開出願番号):特表2006-506480
出願日: 2003年11月05日
公開日(公表日): 2006年02月23日
要約:
本発明は、それぞれのモノマーのアニオン重合又は制御ラジカル重合による、ヒドロキシ-ビニル芳香族ポリマー、特に4-ヒドロキシスチレンポリマー又はコポリマーの製造方法に関し、ここでヒドロキシ官能基は、保護基でブロックされ、そしてこの保護基は、後にハロシラン試薬と反応させることにより脱離される。生じた(コ)ポリマーは、狭い分散度を有し、そしてフォトレジストの製造に有用である。
請求項(抜粋):
1〜2の間の分散度Mw/Mnを有する、分子量分布の狭いヒドロキシ-ビニル芳香族オリゴマー、コオリゴマー、ポリマー又はコポリマーの製造方法であって、 少なくとも1種の、式(I):
IPC (3件):
C08F 12/14 ,  C08F 4/00 ,  G03F 7/033
FI (3件):
C08F12/14 ,  C08F4/00 ,  G03F7/033
Fターム (18件):
2H025AB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB56 ,  4J015CA00 ,  4J015EA04 ,  4J100AB07P ,  4J100BA02P ,  4J100BA04P ,  4J100BC43P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA31 ,  4J100DA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA08 ,  4J100FA19 ,  4J100HC77 ,  4J100JA38
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (5件)
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