ビーム整形装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108980
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305039
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】ビーム形状等を簡易に制御することができるビーム整形装置および方法を提供すること。【解決手段】アフォーカルズーム光学系30を出射する光ビームの拡がり角を一定にすることにより、レーザー光源10からの光ビームの拡がり角の経時変化を補正して投射される光ビームの拡がり角を一定に保つことができる。また、所定の可変範囲で連続的に光ビームのエッジスロープを変えることができるため、プロセス上の条件を容易に探し出すことができる。

請求項（抜粋）：

光源からの照射光を所定の断面形状及び強度で所定面上に入射させるホモジナイザーと、前記光源と前記ホモジナイザーとの間に配置されてホモジナイザーに入射する前記照射光の広がり角を調節する角度調節光学系とを備えるビーム整形装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

ビームホモジナイザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-309243 出願人：住友重機械工業株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-225511 出願人：株式会社トプコン

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