特許
J-GLOBAL ID：200903073333007005

塗布方法

発明者：
瀬川 丈士

瀬川 丈士 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人エクシオ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-208265
公開番号（公開出願番号）：特開2009-043997
出願日： 2007年08月09日
公開日（公表日）： 2009年02月26日
要約：
【課題】バックグラインド工程を経て極薄に研削されたウエハの研削面に、塗布剤を滴下し、平滑化させて所定の膜を形成する際、ウエハを破損しないようになされた塗布方法を提供する。【解決手段】ウエハWの片面に固定治具を密着固定した状態で搬送し、塗布装置で保持する。固定治具として、板状の治具本体と、当該治具本体の片面に設けられた、半導体ウエハを着脱自在に密着保持する密着層とから構成する。治具本体は、片面に前記密着層を支持する複数の支持突起を有すると共に、片面の外周部に前記支持突起と同等高さの側壁を有し、この側壁の端面に前記密着層が接着されて、前記密着層と前記治具本体との間に前記側壁で囲われた区画空間が画成され、前記治具本体に前記区画空間に連通する通気孔7が形成され、この通気孔を介して前記区画空間内の空気を吸引することにより、前記密着層が変形されるものを用いる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
薄板状のワークに液状塗布剤を滴下する工程と、 前記滴下された液状塗布剤を平滑化させる工程とを含む塗布方法において、 前記薄板状のワークは、液状滴下される反対面側が固定冶具により密着固定されてなり、 前記固定治具として、板状の治具本体と、当該治具本体の片面に設けられた、薄板状のワークを着脱自在に密着保持する密着層とから成り、前記治具本体は、片面に前記密着層を支持する複数の支持突起を有すると共に、片面の外周部に前記支持突起と同等高さの側壁を有し、この側壁の端面に前記密着層が接着されて、前記密着層と前記治具本体との間に前記側壁で囲われた区画空間が画成され、前記治具本体に前記区画空間に連通する通気孔が形成され、この通気孔を介して前記区画空間内の空気を吸引することにより、前記密着層が変形されるものを用いたことを特徴とする塗布方法。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
H01L21/68 N ,  G03F7/16 502 ,  H01L21/30 564C
Fターム (21件)：
2H025AB16 ,  2H025EA05 ,  5F031CA02 ,  5F031FA12 ,  5F031GA01 ,  5F031GA41 ,  5F031HA02 ,  5F031HA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA14 ,  5F031HA29 ,  5F031HA32 ,  5F031HA48 ,  5F031MA23 ,  5F031MA26 ,  5F031PA20 ,  5F046CC06 ,  5F046CC08 ,  5F046CC11 ,  5F046JA10
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • レジスト塗布装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-159720   出願人：富士電機株式会社
審査官引用 (1件)

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