特許

J-GLOBAL ID：200903073375870706

基板搬送方法および基板搬送装置

発明者： 米谷 真人 ,  石田 淳一
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-005625
公開番号（公開出願番号）：特開2006-193267
出願日： 2005年01月12日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】 基板の大型化に伴う傾斜搬送の不安定性を低減し、高角度に傾斜させた大型基板を円滑に搬送する。【解決手段】 基板11を水平面に対して傾斜角度を有するようにして搬送する基板搬送装置10は、搬送される基板11を搬送方向に関して曲率を有するように湾曲させる基板湾曲支持手段14を備え、基板湾曲支持手段14が、基板裏面支持手段15と、基板下端支持手段16とを含んで構成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板を水平面に対して傾斜角度を有するようにして搬送する基板搬送方法において、 基板が、 搬送方向に関して曲率を有するように湾曲した状態で搬送されることを特徴とする基板搬送方法。

IPC (5件)：

B65G 49/06 ,  B65G 13/02 ,  B65G 13/08 ,  H01L 21/677 ,  B65G 47/22

FI (5件)：

B65G49/06 Z ,  B65G13/02 ,  B65G13/08 ,  H01L21/68 A ,  B65G47/22 Z

Fターム (24件)：

3F033BA01 ,  3F033BA06 ,  3F033BB02 ,  3F033BB14 ,  3F033BC02 ,  3F033DA03 ,  3F081AA10 ,  3F081AA22 ,  3F081BC01 ,  3F081BE00 ,  3F081CC12 ,  3F081DA02 ,  3F081DA12 ,  3F081DB08 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA17 ,  5F031FA18 ,  5F031GA53 ,  5F031MA23 ,  5F031NA07 ,  5F031PA08 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 薄板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-235444   出願人：株式会社メデック
• 特許第3384666号公報
  
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-344610   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 浮上装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-325948   出願人：第一施設工業株式会社