濾過器および薬液供給装置並びに薬液供給方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-073484
公開番号（公開出願番号）：特開2002-273113
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2002年09月24日
要約：

【要約】【課題】高い清浄度の薬液を塗布し得るようにすることである。【解決手段】液体タンク3から供給される薬液を収容する液体貯留室8と液体貯留室8の薬液をフィルタ11により濾過してポンプ16に供給する濾過材収容室9とが一体に形成された濾過器4をポンプ16と一体に設け、液体貯留室8と液体タンク3とを連通する液体導入流路2と液体貯留室8の内部の空気を排気する排気流路13と、濾過材収容室9とポンプ16とを連通するポンプ入口側流路15を設ける。

請求項（抜粋）：

底壁部と側壁部と天壁部とを有し、濾過材が組み込まれる濾過材収容室と、薬液を収容する液体貯留室とが内部に設けられたフィルタ容器と、前記液体貯留室に連通して前記フイルタ容器に設けられる液体流入ポートと、前記フィルタ容器に設けられ、前記濾過材により濾過された液体を案内する液体流出ポートと、前記液体貯留室に連通して前記フィルタ容器に設けられ、前記液体貯留室内の気体を排出する排気ポートとを有することを特徴とする濾過器。

IPC (12件)：

B01D 29/90 , B01D 29/92 , B01D 35/02 , B01D 35/26 , B01D 37/04 , B01J 4/00 103 , F04B 53/20 , F04B 23/02 , F04B 49/00 331 , G03F 7/16 501 , H01L 21/027 , B05C 11/10

FI (12件)：

B01D 35/26 , B01D 37/04 , B01J 4/00 103 , F04B 23/02 E , F04B 49/00 331 , G03F 7/16 501 , B05C 11/10 , B01D 29/42 501 C , B01D 29/42 510 , B01D 35/02 Z , F04B 21/06 B , H01L 21/30 564 C

Fターム (38件)：

2H025AA18 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025EA04 , 3H045AA08 , 3H045AA12 , 3H045AA15 , 3H045BA19 , 3H045BA25 , 3H045CA16 , 3H045DA01 , 3H045EA34 , 3H071AA15 , 3H071BB01 , 3H071CC44 , 3H071DD04 , 3H071DD31 , 3H071DD61 , 3H071DD72 , 4D064AA40 , 4D064EA00 , 4D066BB31 , 4D066EA06 , 4D066EA08 , 4F042AA07 , 4F042BA09 , 4F042CA01 , 4F042CB02 , 4F042CB11 , 4F042CB19 , 4F042CB25 , 4G068AA02 , 4G068AB15 , 4G068AD21 , 4G068AF25 , 4G068AF28 , 5F046JA03 , 5F046JA04

引用特許：

審査官引用 (9件)

ろ過装置および残留原液回収ろ過方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-299429 出願人：東京特殊電線株式会社
特開平2-030971
内燃機関の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-089486 出願人：トヨタ自動車株式会社

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