特許
J-GLOBAL ID：200903073420670446

物体形状測定装置

発明者：
大澤 康宏

大澤 康宏 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-294464
公開番号（公開出願番号）：特開2005-062063
出願日： 2003年08月18日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】多重反射の影響下で測定物体の形状測定の信頼性を、各種のパターン投影法に適確に対応した状態で高精度に検出可能な物体形状測定装置を提供する。【解決手段】プロジェクタ2により照射パターンが測定物体に照射され、カメラ8により照射パターンの測定物体1での反射撮像パターンが撮像され、形状演算部13により、反射パターンに基づき測定物体1の表面形状が演算され、信頼度演算部14により、照射パターンの光量下限値をPlb、光量上限値をPub、照射パターンの光量をIaとして、測定物体の測定信頼度を示すコントラスト比が、Ia/(Pub-Plb)により演算され、データ出力手段により表面形状データとコントラスト比データとが出力され、多重反射の影響を受ける測定物体1の形状測定データの信頼性を、各種のパターン投影法に広く適確に対応して高精度に検出し撮像画像の画素ごとに適確に把握可能になる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
繰り返し光パターンからなる照射パターンを測定物体に照射する照射手段と、該照射手段と異なる位置に配設され、前記照射パターンが前記測定物体で反射して得られる反射撮像パターンを撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像する反射撮像パターンに基づいて、前記測定物体の表面形状を演算する形状演算手段とを備えた物体形状測定装置において、 前記照射パターンの光量分布の下限値をPlb、前記照射パターンの光量分布の上限値をPubとし、前記照射パターンの光量をIaとして、前記測定物体の測定信頼度を示すコントラスト比RをIa/(Pub-Plb)により演算する信頼度演算手段と、 前記形状演算手段が演算する表面形状データと前記信頼度演算手段が演算するコントラスト比データとを出力するデータ出力手段と を有することを特徴とする物体形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B11/24
FI (1件)：
G01B11/24 K
Fターム (10件)：
2F065AA51 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065HH07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL28 ,  2F065QQ15
引用特許：
出願人引用 (2件)

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