特許
J-GLOBAL ID：200903073443781776
耐熱型計測器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-332314
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170220
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 温度変化に敏感な変位センサを、被計測物からの輻射熱や設置環境の温度差の影響を受けないようにした耐熱型計測器を提供する。【解決手段】 第1,第2の筐体2,3の内部にそれぞれ反射式変位センサ(102a,102b、103a,103b)を収容し、冷却器13,23、熱交換器11,21等により所定温度の風を供給し、反射式変位センサを最適温度範囲で計測可能になるようにする。
請求項（抜粋）：
被計測物に光を照射し該被計測物との間隔を計測する反射式変位センサと、該反射式変位センサを、該反射式変位センサが有する固有の最適計測温度にせしめる温度供給手段とを備えたことを特徴とする耐熱型計測器。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 21/00
, G01C 3/06
, G01D 3/028
G01B 11/00 A
, G01B 21/00 A
, G01C 3/06 A
, G01D 3/04 D
