特許

J-GLOBAL ID：200903073456692276

磁気軸受装置、該磁気軸受装置を用いた回転装置及びターボ分子ポンプ

発明者： 井上 正史 ,  中澤 敏治 ,  落合 俊治
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  株式会社荏原電産
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-348902
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148471
出願日： 2001年11月14日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 トラブルやオーバーホールで磁気軸受装置本体や磁気軸受装置本体を搭載した回転装置本体やターボ分子ポンプ本体のみが返却された場合でも、これらの稼働来歴や異常来歴を容易に確認できる磁気軸受装置、該磁気軸受装置を用いた回転装置及びターボ分子ポンプを提供すること。【解決手段】 相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを有する磁気軸受装置本体1と、制御部10を備え、該制御部10に該磁気軸受装置本体1の稼働来歴や異常来歴を知らしめる手段(LCD12、CPU11及びスイッチ15等)及び/又は該稼働来歴や異常来歴情報を記憶する記憶手段14を設けた磁気軸受装置において、磁気軸受装置本体1にも稼働来歴や異常来歴情報を記憶する記憶手段14を設けた。

請求項（抜粋）：

相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを有する磁気軸受装置本体と、該磁気軸受装置本体を制御する制御部を備え、該制御部に該磁気軸受装置本体の稼働来歴や異常来歴を知らしめる手段及び/又は該稼働来歴や異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けた磁気軸受装置において、前記磁気軸受装置本体にも前記稼働来歴や異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことを特徴とする磁気軸受装置。

IPC (3件)：

F16C 32/04 ,  F04D 19/04 ,  F04D 29/04

FI (4件)：

F16C 32/04 A ,  F04D 19/04 A ,  F04D 29/04 M ,  F04D 29/04 R

Fターム (13件)：

3H022AA01 ,  3H022BA06 ,  3H022CA16 ,  3H022DA16 ,  3H031DA02 ,  3H031FA13 ,  3J102AA01 ,  3J102BA02 ,  3J102CA12 ,  3J102CA20 ,  3J102DA08 ,  3J102DB20 ,  3J102GA06

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 磁気浮上回転装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-015823   出願人：光洋精工株式会社
• 特開平4-252883
  
• 磁気軸受装置及び磁気軸受制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-048768   出願人：セイコー精機株式会社
• 磁気軸受装置およびその起動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-002404   出願人：光洋精工株式会社
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-260554   出願人：株式会社島津製作所