特許
J-GLOBAL ID：200903017141854068
ターボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-260554
公開番号（公開出願番号）：特開平10-103285
出願日： 1996年10月01日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：
【要約】【課題】 種々の特性のターボ分子ポンプ本体に対して、電源装置の種類数を減少する。【解決手段】 ターボ分子ポンプ本体2と、ターボ分子ポンプ本体との間で電力および信号の授受が可能な電源装置3とを含むターボ分子ポンプにおいて、ターボ分子ポンプ本体の特性パラメータを格納する記憶手段(ROM2f)と、特性パラメータをターボ分子ポンプ本体側に送信する送信手段(通信制御回路2)とを電源装置に設け、送信手段からの特性パラメータを受信する受信手段(通信制御回路3e)と、特性パラメータを用いてターボ分子ポンプ本体の制御を行う制御手段(3b,3c)とをターボ分子ポンプ本体に設ける。ターボ分子ポンプ本体の制御を行う条件を、電源装置側からの特性パラメータで設定して、電源装置を共通化し種類数を減少させる。
請求項（抜粋）：
ロータ翼とロータ翼を駆動するモータとロータ翼を回転支持する軸受けを備えたターボ分子ポンプ本体と、該ターボ分子ポンプ本体との間で電力および信号の授受が可能な電源装置とを含むターボ分子ポンプにおいて、前記電源装置は、ターボ分子ポンプ本体の特性パラメータを格納する記憶手段と、該特性パラメータをターボ分子ポンプ本体側に送信する送信手段とを備え、前記ターボ分子ポンプ本体は、送信手段から特性パラメータを受信する受信手段と該特性パラメータを用いてターボ分子ポンプ本体の制御を行う制御手段を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04D 15/00 A
, F04D 19/04 H
