特許
J-GLOBAL ID：200903073457903084
光導波回路モジュール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-034895
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228345
出願日： 2000年02月14日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】 高性能・高機能でかつ信頼性が高い光導波回路モジュールを提供すること。【解決手段】 石英系ガラスを主成分とする光導波回路2の上面を、接着性を有する樹脂薄膜8で被覆することにより、光導波回路2への水分の到達を防ぎ、例え光導波回路2を構成するガラスが吸湿性の高い材質であっても、水との反応を防ぐことを可能とし、光導波回路2を構成するガラスへの多量のドーパント添加を可能とする。
請求項（抜粋）：
シリコンまたは石英ガラスからなる基板上に形成された石英系ガラスを主成分とする光導波回路を含む光導波回路モジュールにおいて、前記光導波回路の上面を吸湿性及び透湿性の低い層で覆ったことを特徴とする光導波回路モジュール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H037BA24
, 2H037DA36
, 2H047MA05
, 2H047QA04
, 2H047TA00
