特許

J-GLOBAL ID：200903073506993809

真空紫外レーザ

発明者： 若林 理 ,  榎波 龍雄 ,  永井 伸治
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-035615
公開番号（公開出願番号）：特開2000-236125
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 不純物が光路空間に混入するのを効果的に防止するとともに、混入した際にこれを検出して除去し、レーザ光のパワーの減衰を防止する。【解決手段】 真空紫外領域のレーザ光11を発振する真空紫外レーザにおいて、レーザ光11の通過する光路空間21を覆う光路カバー13,14,22,32と、この光路空間21を密封する密封手段24,25と、光路空間21内の不純物の濃度K,Tを検出する濃度検出手段31,43と、不純物の濃度K,Tを所定の濃度K1,T1以下に制御する不純物濃度制御手段を備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空紫外領域のレーザ光(11)を発振する真空紫外レーザにおいて、レーザ光(11)の通過する光路空間(21)を覆う光路カバー(13,14,22,38)と、この光路空間(21)を密封する密封手段(24,25)と、光路空間(21)内の不純物の濃度(K,T)を検出する濃度検出手段(31,43)と、不純物の濃度(K,T)を所定の濃度(K1,T1)以下に制御する不純物濃度制御手段を備えていることを特徴とする真空紫外レーザ(1)。

IPC (3件)：

H01S 3/00 ,  H01S 3/036 ,  H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/00 G ,  H01S 3/03 J ,  H01S 3/223 E

Fターム (27件)：

5F071AA02 ,  5F071AA06 ,  5F071DD08 ,  5F071EE01 ,  5F071EE08 ,  5F071GG05 ,  5F071HH02 ,  5F071HH07 ,  5F071JJ02 ,  5F071JJ05 ,  5F072AA02 ,  5F072AA06 ,  5F072GG05 ,  5F072HH02 ,  5F072HH07 ,  5F072JJ02 ,  5F072JJ05 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK01 ,  5F072KK03 ,  5F072KK07 ,  5F072KK08 ,  5F072KK15 ,  5F072KK18 ,  5F072MM08 ,  5F072RR05 ,  5F072YY06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• エキシマレーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-352806   出願人：株式会社小松製作所
• 紫外線レーザ用光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-196428   出願人：株式会社ニコン