感光性組成物及びパターンの形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小田島平吉 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075880
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267285
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】材料選択の幅が広く、低温で硬化させることのできる感光性組成物を提供すること。【解決手段】 (A)カルボキシル基を含有し且つ場合により、さらにヒドロキシフェニル基を含有していてもよい重合体あるいは(A′)カルボキシル基を含有する重合体と(A′′)ヒドロキシフェニル基を含有する重合体の組合わせ;(B)1分子中に少なくとも2個以上のビニルエーテル基を含有する化合物;(C)活性エネルギー線照射により酸を発生する化合物;及び(D)リン酸系化合物を含むことを特徴とする感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基を含有し且つ場合により、さらにヒドロキシフエニル基を含有していてもよい重合体;(B)1分子中に少なくとも2個以上のビニルエーテル基を含有する化合物;(C)活性エネルギー線照射により酸を発生する化合物;及び(D)リン酸系化合物を含むことを特徴とする感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027 , H05K 3/00 , H05K 3/06

FI (5件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , H05K 3/00 F , H05K 3/06 J , H01L 21/30 502 R

Fターム (38件)：

2H025AA00 , 2H025AA04 , 2H025AB01 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC23 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025BC82 , 2H025BE00 , 2H025CA41 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB51 , 2H025CB55 , 2H025CB60 , 2H025CC20 , 2H025EA08 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H025FA48 , 5E339CC01 , 5E339CC10 , 5E339CD01 , 5E339CE12 , 5E339CE16 , 5E339CE19 , 5E339CF01 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CF18 , 5E339DD02 , 5E339EE05

引用特許：

審査官引用 (8件)

感光性組成物及びパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-150785 出願人：関西ペイント株式会社
感光性組成物及びパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-099139 出願人：関西ペイント株式会社
ポジ型感光性組成物、ポジ型感光性平版印刷版及びポジ型感光性平版印刷版の製版方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-205789 出願人：三菱化学株式会社

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