光学部材検査装置及び光学部材検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：遠山勉 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327385
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170401
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】光学機器の性能に対する実際の悪影響に即した良否判定を行うことができる光学部材検査装置及び光学部材検査方法を提供する。【解決手段】撮像素子5aは、撮影レンズLによって形成されたポロプリズムPの映像を撮像して、撮像によって得た画像データを画像処理装置8に入力する。画像処理装置8は、画像データを一旦第1メモリ8aに格納し、第1メモリ8a内の画像データ中の所定の閾値より暗い部分を抽出・反転して第2メモリ8bに格納する。そして、第2メモリ8b内の画像データに含まれる抽出領域を膨張して、膨張後の領域の夫々にユニークなラベルを付す。そして、ラベルを付した各領域に対応する第2メモリ8b内の画像データ中の各領域には、夫々同じラベルを付す。そして、第1メモリ8a内の画像データを反転した後に、第2メモリ8b内の画像データに含まれる抽出領域に対応する部分を抽出する。

請求項（抜粋）：

光学部材を検査する光学部材検査装置において、前記光学部材の検査対象面に対向して配置される撮影レンズと、この撮影レンズによって形成された像を撮像する撮像手段と、この撮像手段によって撮像された画像中における前記光学部材の欠陥を示す領域を抽出する抽出手段と、この抽出手段によって抽出された各領域のうち互いに近接する領域同士をグループ化するグループ化手段と、このグループ化手段によってグループ化された領域毎に、そのグループ内の全領域の状態をまとめて数値化する数値化手段と、この数値化手段によって数値化された数値が所定の判定基準値を超えたか否かを判定する判定手段とを備えたことを特徴とする光学部材検査装置。

IPC (3件)：

G01M 11/02 , G01M 11/00 , G01N 21/88

FI (4件)：

G01M 11/02 B , G01M 11/00 T , G01N 21/88 J , G01N 21/88 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-204715 出願人：株式会社東芝
プリズム異物検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-348013 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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