特許
J-GLOBAL ID：200903073610665279
カップ式めっき方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 大輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205531
公開番号（公開出願番号）：特開2001-032094
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：
【要約】【課題】 めっき液に対して溶解しやすい金属シードが被覆されたウエーハにめっき処理する場合でも、均一性の高く、外観も良好なめっき処理が実現できるカップ式めっき方法を提供する。【解決手段】 めっき槽上部に載置した金属シード付きウェーハのめっき対象面に、めっき槽の下方から上昇流でめっき液を供給するとともにめっき槽に設けられためっき液流出路からめっき液を排出しながら、金属シード付きウェーハにめっき電流を供給してめっき処理を行うものであるカップ式めっき方法において、めっき対象面にめっき液が接触すると同時にめっき対象面の金属シードの溶解防止電圧を印加し、めっき対象面の全面がめっき液と接触した状態となった後にめっき電流の供給を開始してめっき処理するものとした。
請求項（抜粋）：
めっき槽上部に載置した金属シード付きウェーハのめっき対象面に、めっき槽の下方から上昇流でめっき液を供給するとともにめっき槽に設けられためっき液流出路からめっき液を排出しながら、金属シード付きウェーハにめっき電流を供給してめっき処理を行うものであるカップ式めっき方法において、めっき対象面にめっき液が接触すると同時にめっき対象面の金属シードの溶解防止電圧を印加し、めっき対象面の全面がめっき液と接触した状態となった後にめっき電流の供給を開始してめっき処理することを特徴とするカップ式めっき方法。
Fターム (11件)：
4K024AA09
, 4K024AB15
, 4K024BA11
, 4K024BB12
, 4K024CA06
, 4K024CA16
, 4K024CB02
, 4K024CB05
, 4K024CB13
, 4K024CB21
, 4K024GA16
