特許
J-GLOBAL ID:200903073610907230
主にペルフルオロアルコキシから成るコリオリ流量計の製造
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 内田 博
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-547880
公開番号(公開出願番号):特表2005-510701
出願日: 2002年11月19日
公開日(公表日): 2005年04月21日
要約:
【解決手段】 超高純度が求められる処理材料を測定するためのコリオリ質量流量計(100)である。これは、コリオリ質量流量計の全体を、コリオリ質量流量計から流量計を通って流れる処理材料にイオンを移動させることのないPFAプラスチック材料で形成することによって達成される。
請求項(抜粋):
超高純度を有する処理材料を測定するためのコリオリ質量流量計において、
基板(116)と、
前記処理材料の流れを受け取る流管手段(102)であって、前記流管手段の両端部は、前記基板に連結されて、実質的に静止しているノードを前記両端部に形成する、前記流管手段(102)と、
前記処理材料の流れが入っている前記流管手段を加振するための、前記流管手段に連結されている励振器(D)と、
前記処理材料の流れが入っている前記振動している流管手段の誘起されたコリオリ変位を示す信号を発生させるための、前記流管手段に連結されているピックオフ手段(RPO、LPO)と、
前記ピックオフ手段から前記信号を受信し、前記処理材料の流れに関連する出力情報を作成するメーター電子機器(121)と、を備えており、
前記流管手段が、前記流管手段から前記処理材料へ、イオンを移動させない材料で作られていることを特徴とするコリオリ質量流量計。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (2件):
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開平4-236328
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質量流量計
公報種別:公表公報
出願番号:特願平9-540541
出願人:クローネメステヒニークゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツングウントコンパニーコマンデイトゲゼルシヤフト
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コリオリ流量計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-107818
出願人:株式会社オーバル
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特開平4-236328
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特開平3-048729
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