真空排気システムおよびその運転方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：角田嘉宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289183
公開番号（公開出願番号）：特開2003-097427
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】メカニカルブースタポンプの負荷を軽減して長寿命化を図ることが可能であるとともに騒音の発生を防止することが可能な真空排気システムおよびその運転方法を提供する。【解決手段】真空排気システム100の運転時には、全バルブ3,4,5,6,8を閉じた状態でメカニカルブースタポンプ(MBP)9およびロータリポンプ(RP)10を起動し、一旦メカニカルブースタポンプ9を停止してからスローラフバルブ(SRV)4を開いた後に再びメカニカルブースタポンプ9を再起動するものである。

請求項（抜粋）：

チャンバの内部に連通するように第1の排気路が設けられ、前記第1の排気路に上流側から順に第1の開閉バルブ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプが設けられた真空排気システムであって、前記第1の開閉バルブを閉じた状態で前記ロータリポンプおよび前記メカニカルブースタポンプを起動し、ついで前記メカニカルブースタポンプを停止して前記第1の開閉バルブを開き、その後前記メカニカルブースタポンプを再起動する真空排気システム。

IPC (2件)：

F04B 37/16 , F04B 49/06 341

FI (3件)：

F04B 37/16 A , F04B 37/16 D , F04B 49/06 341 J

Fターム (23件)：

3H045AA02 , 3H045AA05 , 3H045AA15 , 3H045AA26 , 3H045AA38 , 3H045BA03 , 3H045BA07 , 3H045BA38 , 3H045CA04 , 3H045DA01 , 3H045DA35 , 3H045DA39 , 3H045EA13 , 3H045EA35 , 3H045EA38 , 3H045EA45 , 3H076AA16 , 3H076AA21 , 3H076AA38 , 3H076BB01 , 3H076BB26 , 3H076BB36 , 3H076CC84

引用特許：

審査官引用 (6件)

真空排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-024776 出願人：国際電気株式会社
炉内の真空度制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-022107 出願人：大同特殊鋼株式会社
特開平2-221685

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