特許

J-GLOBAL ID：200903073729934960

基板の欠陥を検出する装置及びその方法

発明者： マウ-ソン・チョウ ,  リチャード・エイ・チョズコ ,  エル・スザン・ケイスメント ,  ジョナサン・ダブリュー・アレンバーグ
出願人/特許権者： ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-232153
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065759
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 クラックのような欠陥を均一に検出し、欠陥の種類を識別し、しかも、基板を過度に加熱することのない、太陽電池のような基板の欠陥を検出する装置及び方法を提供すること。【解決手段】 基板12を検査する方法及び装置10はクラックのような欠陥を均一に検出し、異なる種類の欠陥を識別し、また、基板12を過剰に加熱しない。赤外線放射源14が基板12をある入射角度にて均一の仕方にて照射する赤外線エネルギ18を発生させる。赤外線カメラ16は基板12から反射した赤外光線18の一部を集める。欠陥の標識48、50を含む、集めた光線から像32が形成される。入射角度を変化させるとき、標識48、50の外観についてこの像32を検査する。

請求項（抜粋）：

基板の欠陥を検出する装置において、該基板から隔てられ且つ前記基板を赤外光線で実質的に均一に照射し得るように配置された赤外線放射源と、前記基板から反射した赤外光線を集め得るように配置されたレンズを有する赤外線カメラと、前記反射した赤外光線から前記欠陥を表わす標識を含む像を形成する手段とを備える、装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 31/04

FI (2件)：

G01N 21/956 Z ,  H01L 31/04 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プリント基板の配線パターン観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-025110   出願人：富士通株式会社
• 赤外検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-026856   出願人：三菱電機株式会社
• パターン検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-052087   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭63-124938