特許

J-GLOBAL ID：200903073752138349

フラットディスプレイパネルの隔壁形成方法

発明者： 小坂 忠義 ,  福田 晋也 ,  別井 圭一 ,  淡路 則之 ,  天津 正史
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-259650
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102275
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 本発明はフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法に関し、均一な膜厚の隔壁材ベタ層と結果的に高さ精度の良い隔壁を簡単な工程で形成して製造工数の削減と低コスト化を図ることを目的とする。【解決手段】 放電領域を区画、又は仕切る隔壁が放電空間内に設けられたフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法において、隔壁形成面積より大きい開口部42a を有し、かつ焼成収縮量を見越した隔壁の高さに相当する板厚の印刷マスク42を用いて隔壁材料のガラスペースト52をガラス基板51上にベタ印刷し、印刷された隔壁材ベタ層53を、該隔壁材ベタ層53に対する加熱温度を中央部領域で高く、その周囲の縁端部領域で低くなるような温度分布で加熱乾燥して均一な膜厚分布の隔壁材ベタ層54と、それをパターニングして結果的に高さ精度の良い隔壁を簡単化した工程により容易に形成するようにしたこと。

請求項（抜粋）：

放電領域を区画、または仕切る隔壁が放電空間内に設けられたフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法において、隔壁形成面積より大きい開口部を有する印刷マスクを用いて隔壁材料のガラスペーストをパネル基板上にベタ印刷し、乾燥させた後、該隔壁材ベタ層上に隔壁パターニング用のレジストマスクを設け、該レジストマスクを介して隔壁材ベタ層をパターニングして隔壁を形成することを特徴とするフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法。

IPC (4件)：

H01J 9/24 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/00 ,  H01J 17/49

FI (4件)：

H01J 9/24 B ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 B ,  H01J 17/49 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラズマディスプレイ基板の厚膜パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-206985   出願人：大日本印刷株式会社
• プラズマディスプレイパネル基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-338232   出願人：松下電子工業株式会社, 東京応化工業株式会社
• 特開平2-301934
  
• 特開昭61-055911