特許

J-GLOBAL ID：200903073753956843

基板搬送用フォーク

発明者： 山下 慎次
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-072635
公開番号（公開出願番号）：特開2003-273191
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】基板の材質、表面状態あるいは装置周囲の雰囲気に影響されることなく、基板搬送用フォーク上で基板の有無を検出できるセンサを備えた基板搬送用フォークを提供する。【解決手段】平板状の本体11に基板支持ピン12を配設して、基板支持ピン12上に基板13を載置する基板搬送用フォーク1において、基板支持ピン12の内部に応力インピーダンス素子22を備えて、基板支持ピン12に加わる基板13の荷重を検出して、基板13の有無を検出する。

請求項（抜粋）：

平板状の本体に基板支持ピンを配設して、前記基板支持ピン上に基板を載置する基板搬送用フォークにおいて、前記基板支持ピンの内部に応力インピーダンス素子を備えて、前記基板支持ピンに加わる前記基板の荷重を検出して、前記基板の有無を検出することを特徴とする基板搬送用フォーク。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B25J 19/02 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  G01G 3/15

FI (7件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 L ,  B25J 15/08 W ,  B25J 19/02 ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 E ,  G01G 3/15

Fターム (22件)：

3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007KS09 ,  3C007KS30 ,  3C007KS33 ,  3C007KV06 ,  3C007KW03 ,  3C007KX08 ,  3C007MT04 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA05 ,  5F031GA36 ,  5F031JA01 ,  5F031JA22 ,  5F031JA45

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-079524
  
• 高感度応力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-326360   出願人：科学技術振興事業団
• ワイヤ駆動リンク装置およびその駆動制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-274186   出願人：本田技研工業株式会社