特許
J-GLOBAL ID：200903073898252798

原子間力顕微鏡のための垂直力検出用カンチレバー

発明者：
安 藤 泰 久

安 藤 泰 久 について


出願人/特許権者：
工業技術院長

工業技術院長 について


代理人 (1件)： 工業技術院機械技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063354
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258332
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 AFMのための垂直力検出用カンチレバーを、曲げ剛性に影響を与えることなくねじり剛性を向上させ、ねじり変形の影響を受けないで垂直力を検出可能にする。【解決手段】 被験試料1の表面に対して平行に向く複数枚の平行な板ばね3を間隔を置いて対向配置することによりカンチレバー本体2を構成する。その基端をAFMに取り付けたベース7に固定し、カンチレバー本体2の先端部分にブロック状をなすヘッド4を設ける。そのヘッド4の試料1側に向いている面にプローブ5を設け、カンチレバー本体2の変位または角度を検出可能にする。
請求項（抜粋）：
被験試料の表面に対して平行に向く複数枚の互いに平行な板ばねを、間隔を置いて対向配置し、それらの板ばねの両端を相互に拘束することによりカンチレバー本体を構成し、その基端を原子間力顕微鏡に取り付けたベースに固定可能にすると共に、それらのカンチレバー本体の先端部分にブロック状をなすヘッドを設け、そのヘッドの試料側に向いている面にプローブを設け、カンチレバー本体に変位・角度検出手段を設けた、ことを特徴とする原子間力顕微鏡のための垂直力検出用カンチレバー。
IPC (2件)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z
Fターム (8件)：
2F069AA60 ,  2F069DD30 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06
引用特許：
審査官引用 (2件)

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