特許
J-GLOBAL ID:200903073925623345
センサ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
國分 孝悦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-308065
公開番号(公開出願番号):特開2006-119021
出願日: 2004年10月22日
公開日(公表日): 2006年05月11日
要約:
【課題】 簡素な構成により高感度に各種物理量を測定する全く新しい技術思想に基づくセンサ装置を実現する。【解決手段】 基体1上に離間して設けられた一対の電極2,3と、電極2,3間に電圧又は電流を印加する電源4と、電極2,3間において、基体1上で当該電極2,3間を林立する複数の棒状導電体5からなる棒状導電体群6と、棒状導電体群6の近傍に設置されており、棒状導電体5を変形させ、棒状導電体5間の距離を変化させることを補助する変形補助機構7とからセンサ装置を構成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
一対の電極と、
前記一対の電極間に電圧又は電流を印加する電源と、
前記一対の電極間の領域に林立する複数の棒状導電体と、
複数の前記棒状導電体の近傍又は少なくとも一部と接触するように設置されており、前記棒状導電体の変形及び前記棒状導電体間の距離の変化のうち少なくとも一方を補助する変形補助機構と
を含むことを特徴とするセンサ装置。
IPC (9件):
G01D 5/14
, G01F 1/28
, G01L 1/14
, G01L 1/20
, G01L 9/02
, G01L 9/12
, G01P 5/04
, G01P 15/12
, G01P 15/18
FI (10件):
G01D5/14 P
, G01F1/28 C
, G01L1/14 J
, G01L1/20 G
, G01L9/02
, G01L9/12
, G01P5/04 E
, G01P5/04 G
, G01P15/12 Z
, G01P15/00 K
Fターム (16件):
2F030CA05
, 2F030CA10
, 2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC11
, 2F055DD19
, 2F055EE18
, 2F055EE25
, 2F055FF43
, 2F055GG11
, 2F077AA43
, 2F077CC02
, 2F077DD15
, 2F077EE09
, 2F077VV01
, 2F077VV33
引用特許:
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