触覚センサおよびこれを用いた指紋センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-201827
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044587
出願日： 1997年07月28日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】小型、薄型で、かつ、高感度で安定な指紋の検出を可能にする指紋センサを提供すること。【解決手段】指紋情報を電気的信号に変換して出力する指紋センサにおいて、電界効果型トランジスタのソース領域とドレイン領域の間のチャネル領域上に、絶縁膜を隔てて弾性絶縁体と導電体が順次積層された複数の触覚センサと、前記複数の触覚センサのそれぞれと直列接続されて複数のソースフォロア回路を形成する定電流源の機能を持つトランジスタと、前記複数のソースフォロア回路を電源に接続する第1のスイッチング素子と、前記複数の触覚センサの出力としてのソース電圧を共通の出力端子に接続する第2のスイッチング素子とを有する。

請求項（抜粋）：

電界効果型トランジスタのソース領域とドレイン領域の間のチャネル領域上に、絶縁膜を隔てて弾性絶縁体と導電体が順次積層され、前記弾性絶縁体は積層方向の寸法が該積層方向に垂直な方向の寸法よりも大きなことを特徴とする触覚センサ。

IPC (4件)：

G01L 1/18 , G01L 5/00 101 , H01L 29/78 , H01L 29/84

FI (4件)：

G01L 1/18 , G01L 5/00 101 Z , H01L 29/84 C , H01L 29/78 301 J

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-222179
力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-000004 出願人：キヤノン株式会社
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-014690 出願人：ソニー株式会社

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