二次元画像検出器およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252227
公開番号（公開出願番号）：特開2000-236482
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】二次元画像検出器の応答性を改善し、動画像にも対応可能とする。あわせて、基板間隔を面内で均一にするとともに、両基板間の接続不良やリーク不良の発生を抑制する。【解決手段】二次元画像検出器は、画素電極14が形成されたアクティブマトリクス基板1と、電荷収集電極6が形成された対向基板2とが、画素電極14と電荷収集電極6とが対向して接続されるように、各画素ごとに独立して設けられた導電接続材3および間隔保持材45を介して貼り合わされている。さらに、間隔保持材45の樹脂材料45aが軟質である場合には、樹脂材料45a中に電気絶縁性を有し、熱圧着による変形量の小さい補助材45bを分散させておくことで、十分な間隔保持力を発揮することができる。

請求項（抜粋）：

格子状に配列された電極配線と、各格子点ごとに設けられた複数のスイッチング素子と、該スイッチング素子を介して該電極配線に接続される画素電極とからなる画素配列層を含むアクティブマトリクス基板と、該画素配列層のほぼ全面に対向して形成される電極部と、該画素配列層および該電極部の間に形成される光導電性を有する半導体層とを含む対向基板とを備えており、これら両基板が、該アクティブマトリクス基板の画素配列層と、該対向基板の半導体層とが対向するように配置されるとともに、該画素電極に対応してパターン形成された導電性および接着性を有する導電接続材によって接続されており、さらに、これら両基板の間隙に、両基板の間隔を保持する間隔保持材がパターン形成されていることを特徴とする二次元画像検出器。

IPC (6件)：

H04N 5/335 , G01J 1/02 , H01L 27/146 , H01L 27/14 , H01L 31/0264 , H04N 1/028

FI (6件)：

H04N 5/335 V , G01J 1/02 Q , H04N 1/028 Z , H01L 27/14 F , H01L 27/14 K , H01L 31/08 N

引用特許：

出願人引用 (5件)

半導体装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-316271 出願人：株式会社日立製作所, 日本放送協会
固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-021592 出願人：富士通株式会社
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-113332 出願人：富士通株式会社

全件表示

審査官引用 (6件)

半導体装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-316271 出願人：株式会社日立製作所, 日本放送協会
固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-021592 出願人：富士通株式会社
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-113332 出願人：富士通株式会社

全件表示

前のページに戻る